1. Laserdetektionshovedet og prøvescanningstrinnet er integreret, strukturen er meget stabil, og anti-interferensen er stærk
2. Præcision sonde positionering enhed, laser spot justering justering er meget let
3. Enkeltakset drevprøve nærmer sig automatisk sonden lodret, så nålespidsen er vinkelret på prøvescanningen
4. Den intelligente nålefremføringsmetode for motorstyret tryksat piezoelektrisk keramisk automatisk detektion beskytter sonden og prøven
5. Automatisk optisk positionering, ingen grund til at fokusere, realtidsobservation og positionering af sondeprøvescanningsområdet
6. Spring suspension stødsikker metode, enkel og praktisk, god stødsikker effekt
7. Metalafskærmet lydtæt boks, indbygget højpræcisions temperatur- og fugtighedssensor, realtidsovervågning af arbejdsmiljøet
8. Integreret scanner ikke-lineær korrektion bruger editor, nanometer karakterisering og målenøjagtighed bedre end 98%
Driftstilstand | berøringstilstand, tryktilstand |
Valgfri tilstand | Friktion/lateral kraft, amplitude/fase, magnetisk/elektrostatisk kraft |
kraftspektrumkurve | FZ kraftkurve, RMS-Z kurve |
XY scanningsområde | 20*20um, valgfri 50*50um, 100*100um |
Z scanningsområde | 2,5um, valgfri 5um, 10um |
Scanningsopløsning | Vandret 0,2 nm, lodret 0,05 nm |
Prøvestørrelse | Φ≤90mm, H≤20mm |
Eksempel på etaperejse | 15*15 mm |
Optisk observation | 4X optisk objektivlinse/2,5um opløsning |
Scanningshastighed | 0,6 Hz-30 Hz |
Scanningsvinkel | 0-360° |
Driftsmiljø | Windows XP/7/8/10 styresystem |
Kommunikationsgrænseflade | USB 2.0/3.0 |
Stødabsorberende design | Fjederophængt/metalafskærmet kasse |